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Banca de DEFESA: LEONARDO FERREIRA SOARES

Uma banca de DEFESA de MESTRADO foi cadastrada pelo programa.
DISCENTE: LEONARDO FERREIRA SOARES
DATA: 26/03/2014
HORA: 15:00
LOCAL: Auditório do Departamento de Física
TÍTULO:

Estequiometria de Filmes Finos de Nitreto de Titânio (TiN) Depositados Via Gaiola Catódica por  Espectroscopia Raman.


PALAVRAS-CHAVES:

Nitreto de titânio, gaiola catódica, filmes finos, espectroscopia.


PÁGINAS: 67
GRANDE ÁREA: Ciências Exatas e da Terra
ÁREA: Física
SUBÁREA: Física da Matéria Condensada
RESUMO:
O objetivo deste trabalho é analisar o comportamento dos filmes de TiN, em relação aos substratos e tempos de deposições,  no processo de nitretação. Estes filmes foram crescidos em substratos de silício e silício com gálio, através da técnica conhecida como CCPN (Nitretação a Plasma com Gaiola Catódica) durante 0.5, 1.0, 2.0, 3.0 e 4.0 h. Nos espectros Raman dos filmes TiN, pode-se observar modos de vibrações acústico transversal (TA), acústico longitudinal (LA), acústico de segunda ordem (2 A) e óptico transversal (TO), assim como, seus deslocamentos para diferentes números de ondas com o tempo de deposição. Com a analise de multipicos sobre os espectros Raman do TiN, obteve-se os valores das áreas internas das bandas  referentes aos modos vibracionais, onde foram usados na quantização de nitrogênio nos filmes de TiN, apenas os modos TA, LA e TO. Observou-se que em substratos de silício a razão N/Ti cresce quase que linearmente, enquanto que na amostra de silício com gálio essa razão decresce bruscamente até 2h, e em seguida permanece praticamente constante até 4h de deposição. Nesse sentido procurou-se investigar a influência dos parâmetros de processo como tempo de deposição e tipo de substrato na concentração de nitrogênio em relação ao titânio presentes nos filmes de TiN. Possivelmente esse comportamento anômalo da razão N/Ti para cada substrato, seja conseqüência da presença de bolas de gálio, que talvez, tenha influenciado no processo de deposição.



MEMBROS DA BANCA:
Presidente - 1780191 - FRANCISCO ERONI PAZ DOS SANTOS
Interno - 2056226 - CLEÂNIO DA LUZ LIMA
Interno - 1650556 - TAYRONI FRANCISCO DE ALENCAR ALVES
Externo ao Programa - 215.141.604-63 - ROMULO RIBEIRO MAGALHÃES DE SOUSA - IFPI
Notícia cadastrada em: 26/03/2014 09:15
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